事實(shí)上,在科研和生產(chǎn)中都能見(jiàn)到一些專(zhuān) 用的氣浮臺設備,這些專(zhuān) 用設備在使用過(guò)程中能有效地保證其精 確度,與機械式轉臺相比,氣浮臺作用更大,能更好的保證精度,但見(jiàn)過(guò)許多設備之后,大概不知道它到底有什么優(yōu)點(diǎn),我想看看這個(gè)氣浮轉臺是什么?
氣浮轉臺是利用軸承腔內空氣壓力導入,使轉軸懸浮于空氣中,并能平滑旋轉,使轉軸在空氣中懸浮,通過(guò)軸承腔引入空氣壓力,使導流間隙特別小,保證轉軸懸浮,從而獲得較高的軸向和徑向跳動(dòng)誤差。高速、高精度、無(wú)摩擦、無(wú)磨損、不潤滑、速度穩定、無(wú)噪音。氣浮轉盤(pán)具有許多優(yōu)點(diǎn),越來(lái)越多地使用氣浮式軸承來(lái)代替傳統的機械軸承。
氣浮轉臺作為一種典型的超精密機械,從誕生起就受到了人們的廣泛關(guān)注,其中包括微光刻技術(shù)、數控加工、生命科技、納米面形測量,高精密機床研發(fā)等領(lǐng)域,是超精密定位、探測及精 確移動(dòng)載體平臺,為超精密加工工藝技術(shù)的研究開(kāi)發(fā)拓展了一個(gè)領(lǐng)域,可以很好的解決高精度零件的加工、檢驗等問(wèn)題。
具有多年的精密機械設計、加工、裝配等專(zhuān) 業(yè)經(jīng)驗,瑞邦精控從設計上研究高壓氣體流動(dòng)規律、壓力分布、轉臺精度分離方法等問(wèn)題。從壓力分布、氣源壓力、節流器、均壓槽深等方面,確定了高壓氣膜剛度下各參數的范圍。在氣浮臺研制中的關(guān)鍵技術(shù)突破,為高精度零件加工、檢測、超精密加工工具的開(kāi)發(fā)奠定了技術(shù)基礎。完成了氣浮平臺的設計與制造,并在100nm范圍內實(shí)現了1角秒的定位精度。