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氣浮平臺有氣浮直線(xiàn)平臺與氣?。ㄐD）轉臺兩類(lèi)。氣浮平臺的核心原理是由空氣軸承結合電控元件構成的精密位移平臺，基于空氣軸承的原理，讓負載板浮在氣浮導軌或氣浮軸承上，實(shí)現無(wú)摩擦、無(wú)振動(dòng)的平滑運動(dòng)。
氣浮平臺的氣浮直線(xiàn)導軌常見(jiàn)的形式有：
1. 重力平衡式氣浮導軌；
2. 閉式氣浮導軌；
3. 永磁預載式氣浮導軌；
4. 真空吸附式氣浮導軌。
常見(jiàn)的氣浮孔結構為：
1. 小孔節流結構；
2. 多孔質(zhì)結構。
氣浮平臺的高直線(xiàn)度和平面度依賴(lài)于氣浮導軌，材質(zhì)分為鋁合金、大理石及碳化硅陶瓷等，研究其高壓氣膜的壓力分布、氣源壓力、節流器、均壓槽深度等，找到了zui優(yōu)氣膜剛度時(shí)的參數區間有著(zhù)出色的性能精度，行程300mm直線(xiàn)度和平面度的誤差在1μm以?xún)?，氣浮平臺的承載能力也非常的出色，在市場(chǎng)上已經(jīng)逐漸得到大家的認可。
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